Hình 1: Công nghệ kiểm soát nhiệt độ đồng nhất của Omron
Trong ngành sản xuất chất bán dẫn đang không ngừng đổi mới và phát triển, độ chính xác là điều tối quan trọng. Khi kích thước các tấm wafer ngày càng thu nhỏ, việc đạt được kiểm soát nhiệt độ đồng đều trở thành một thách thức tất yếu.
Giới thiệu công nghệ kiểm soát nhiệt độ đồng nhất của Omron
Đứng trước thách thức thiếu công nghệ tiên tiến trong kiểm soát nhiệt độ sẽ cản trở nhu cầu thu nhỏ tấm wafers.
Omron giới thiệu một trong những giải pháp đột phá của chúng tôi để đáp ứng nhu cầu này -
công nghệ kiểm soát nhiệt độ đồng nhất.
- Đạt được sự đồng đều nhiệt độ khi trong trạng thái dao động ngắn và khi ổn định
- Chương trình điều khiển (Function block) kiểm soát độ đồng đều nhiệt độ cho phép điều chỉnh tới 100 kênh gia nhiệt và 200 điểm nhiệt độ wafer
Hình 2: Công nghệ kiểm soát nhiệt độ đồng nhất của Omron
a. Công nghệ kiểm soát đồng đều nhiệt độ đa điểm
Mô phỏng nhiệt độ phôi đa điểm sử dụng bộ ghi đo nhiệt độ và khối lập trình chức năng.
Mô hình này, là một công nghệ độc đáo phát triển bởi Omron, có thể mô phỏng chính xác sự thay đổi và giao thoa nhiệt phức tạp trong vận hành.
Hình 3: Công nghệ kiểm soát đồng đều nhiệt độ đa điểm
b. Công nghệ tối ưu khả năng tính toán
Thuật toán tính toán tối ưu ( được phát triển bởi OMRON) cho phép PLC có thể nhanh chóng tính toán ra các giá trị cài đặt (SVs) để đạt được nhiệt độ yêu cầu.
Thông thường phép tính: {±5°C (phạm vi tìm kiếm)/0,01 (độ phân giải cài đặt SV)} ^ 7 (số kênh) = 10 ^ 21 có thể mất 3.5 năm để đưa ra giá trị điều khiển, với thuật toán tối ưu của Omron nó hoàn toàn có thể thực hiện chỉ trong khoảng 30s!
Hình 4: PLC NX5 Omron
Với công nghệ tối ưu khả năng tính toán này giúp:
- Giảm thiểu công sức: Được kích hoạt bởi Function Block giúp đạt được sự đồng nhất của nhiệt độ hoạt động bên trong bộ điều khiển nhiệt độ
- Tối ưu hóa các thông số: Được kích hoạt bởi Function Block giúp đạt được sự đồng nhất nhiệt độ khi ở trạng thái dao động ngắn và khi ổn định
Omron giới thiệu tới bạn hai dòng sản phẩm có tích hợp công nghệ kiểm soát nhiệt độ đồng nhất: Temperature Control Unit NX-HTC và Automation Controller NX-502.
Mô phỏng nhiệt độ phôi đa điểm sử dụng bộ ghi đo nhiệt độ và Khối lập trình chức năng.
Mô hình này, là một công nghệ độc đáo phát triển bởi Omron, có thể mô phỏng chính xác sự thay đổi và giao thoa nhiệt phức tạp trong vận hành.
Bảo An - Tự hào là đối tác chiến lược Bạch Kim của Omron. Chúng tôi luôn nỗ lực từng ngày để mang lại đa dạng các sản phẩm và dịch vụ kỹ thuật tin cậy tới Quý khách hàng, giúp giảm thiểu được chi phí, tăng năng suất lao động, đồng hành cùng Omron hướng tới một tương lai tươi sáng.
Bảo An Automation - "Nơi niềm tin trao gửi, nơi công nghệ hội tụ".
